2015年3月27日10时58分，由北方微电子公司自主研发的12英寸28纳米NMC612系列高密度等离子硅刻蚀机正式安装，再次进入国内最先进的集成电芯片代工企业——中芯国际，进一步加快了集成电高端微电子装备的国产化进程。 北方微电子研制的NMC612系列28nm高密度等离子硅刻蚀机于2012年9月进入中芯国际上海厂，与客户TD部门同步进行28nm工艺开发，工艺结果达到生产线技术要求，通过中芯国际生产线全流程工艺验证。同时，北方微电子NMC612系列55nm刻蚀机也在中芯国际厂批量生产，设备无论在工艺性能还是在稳定性方面均满足国际大生产线的要求。 2015年3月，NMC612C 28nm高密度等离子硅刻蚀机正式进入中芯国际厂，成为了国内首台进入主流大生产线的28nm硅刻蚀机。 28nm集成电制造技术是目前国内最先进的半导体工艺制造技术，作为中国自主开发集成电高端制造装备的先行者，北方微电子28纳米等离子硅刻蚀机，突破了精密等离子体控制、硅片表面温度精确控制、高气流均匀控制等多项关键技术，以全新的硬件设计达到了高速率、高均匀性、低损伤和低缺陷、精确尺寸和形貌控制、低颗粒污染等要求，多项关键指标达到国际先进水平。除此之外，设备还具有高的Throughput、低CoO和CoC等特点，给客户广阔的优化空间。 北方微电子是一家专注于高端半导体装备研发与市场化的高新技术企业，通过国家专项的实施和北方微电子的不断耕耘，在集成电产业成绩卓著。北方微电子开发的刻蚀、PVD和CVD高端装备，都以其优异的工艺性能、低的设备拥有成本及完善的客户服务打破了国际半导体设备商长期的寡头垄断，并获得了客户的高度好评。北方微电子将通过不断地技术创新，与集成电芯片企业协同发展，共同迎接集成电国产化大时代! |